ガラス穴加工＋めっき
高品質・高精密な貫通穴
特長
クラック・カケを生じない
平滑な側壁
超高密度の微細穴
デバイスの小型化・集積化
技術優位性
EBINAX提案プロセスの優位性
高品質で高密度な微細穴を実現します。
| EBINAX提案プロセス | レーザー | ブラスト | |
|---|---|---|---|
| 穴径（＜100μm） | |||
| 加工精度 | |||
| クラック等の発生量 | |||
| 側壁の面粗度 |
■優
■良
■可
高品質な貫通穴加工
クラック・カケがなく、超高密度の微細穴を実現します。
平滑な側壁
貫通穴の側壁の粗さは、Ra ≦0.08μm です。
デザインルール
標準デザイン
| ガラス基板サイズ inch | ～φ8 |
|---|---|
| ガラスの厚み (A) μm | 200 – 500 |
| 穴上部の直径 (B) μm | 30-100 ±5 |
| 穴中心部の直径 (C) | B/2 + |
| 穴のピッチ (D) | 2 × B |
| アスペクト比 (=B:A) | 1:5 |
| 穴位置の精度 μm | ±5 |
| 貫通穴形状 | ストレート・砂時計・テーパー |
ガラス貫通穴断面図
対応可能なガラス材
無アルカリガラス
上記は参考値となります。実際のデザインについてはご相談ください。
ガラスへのめっき例
コンフォーマルめっき
充填めっき
用途
| 目的 | 想定される用途 | 使われる分野 |
|---|---|---|
| 電気を通す | センサー スイッチ 半導体パッケージ基板 検査機器 |
医療・バイオ・通信・電気・電子・産業・半導体 |
| 液体を通す | マイクロノズル インクジェットヘッド部品 検査機器 |
医療・電子・産業 |
| 光を通す | 光遮光板 マイクロフィルター 電子線アパーチャー 精密遮光板 検査機器 ディスプレイ |
医療・バイオ・電子・産業・半導体機器 |
納品までの流れ
資材調達からダイシング加工まで、一貫した生産が可能です。
- 打合せ・注文
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- 資材調達
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- 貫通穴加工
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- めっき（配線・電極形成）
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- 研磨・ダイシング
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- 納品
※プロセスはお客様のご希望に合わせて対応します。
管理コストの低減、リードタイムの短縮を可能にします。
